微量氧的分析方法主要有比色法、化學(xué)電池法、黃磷發(fā)光法、濃差電池法和氣相色譜法。其中比色法是較早采用的分析方法，它是國家標準規(guī)定的方法，利用銅氨溶液進行比色分析，由于操作復(fù)雜，準確度難以保證，并且不能實現(xiàn)自動在線分析，現(xiàn)在已很少采用，不過它還是一種仲裁方法。黃磷發(fā)光法是利用氧氣與黃磷氧化燃燒進行分析，具有分析速度快，可以連續(xù)分析的特點，但該方法采用的黃磷是危險化學(xué)品，生成的產(chǎn)物具有腐蝕性，并且檢測限低，所以現(xiàn)在已很少采用。

化學(xué)電池法的微量氧分析儀指的利用氧化還原電池的原理進行微量氧分析，它的傳感器（檢測器）是化學(xué)原電池，主要由一個陰極，一個陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產(chǎn)生的電子由電路引出然后進行補償修正放大，即可測出被測氣體中的氧含量。

氣相色譜法進行微量氧分析的優(yōu)勢在于多種雜質(zhì)可以同時檢測，因為空分氣體中的雜質(zhì)分離比較容易，所以色譜柱系統(tǒng)的配置簡單。在進行包含微量氧的多種雜質(zhì)檢測時，選擇色譜分析比較合適。